1. Дефиниција система за расути гас:
Складиштење и контрола притиска инертних гасова Типови гаса: Типични инертни гасови (азот, аргон, компримовани ваздух, итд.)
Величина цевовода: од 1/4 (праћење цевовода) до главног цевовода од 12 инча
Главни производи система су: мембрански вентил/вентил са мехом/кугласти вентил, конектор високе чистоће (ВЦР, облик за заваривање), конектор за ферруле, вентил за регулацију притиска, манометар итд.
Тренутно, нови систем укључује и систем специјалног гаса у расутом стању, који користи фиксне гасне боце или камионе цистерне за складиштење и транспорт.
2. Дефиниција система за пречишћавање:
Уклањање нечистоћа из расутих гасова за гасоводе високе чистоће
3. Дефиниција гасних ормара:
Обезбедите контролу притиска и праћење протока за специјалне изворе гаса (токсични, запаљиви, реактивни, корозивни гасови) и имају могућност замене гасних боца.
Локација: Налази се на поду подфабрика или доњем спрату за складиштење специјалних гасова Извор: НФ3, СФ6, ВФ6, итд.
Величина цевовода: Унутрашњи гасовод, углавном 1/4 инча за процесни цевовод, 1/4-3/8 инча углавном за цевовод за прочишћавање азота високе чистоће.
Главни производи: Мембрански вентили високе чистоће, неповратни вентили, манометри, манометри, конектори високе чистоће (ВЦР, облик за заваривање) Ови гасни ормари у основи садрже могућности аутоматског пребацивања за цилиндре како би се обезбедило непрекидно снабдевање гасом и безбедна замена цилиндара.
4. Дефиниција дистрибуције:
Повезивање извора гаса са калемом за сакупљање гаса
Величина линије: У фабрици чипова, величина дистрибутивног цевовода за расути гас углавном се креће од 1/2 инча до 2 инча.
Облик прикључка: Специјални гасоводи се углавном спајају заваривањем, без икаквих механичких спојева или других покретних делова, углавном зато што спој за заваривање има јаку поузданост заптивања.
У фабрици чипова постоје стотине километара цеви повезаних за пренос гаса, које су у основи дугачке око 20 стопа и заварене заједно. Неке кривине цеви и спојеви за цевно заваривање су такође веома чести.
5. Мултифункционална вентилска кутија (Кутија разводног вентила, ВМБ) Дефиниција:
То је дистрибуција специјалних гасова из извора гаса на различите крајеве опреме.
Величина унутрашњег цевовода: 1/4 инча процесног цевовода и 1/4 - 3/8 инча цевовода за чишћење. Систем може користити компјутерску контролу да захтева активиране вентиле или ситуације са нижим трошковима са ручним вентилима.
Системски производи: мембрански вентили/вентили мехови високе чистоће, неповратни вентили, спојеви високе чистоће (ВЦР, облик за микро заваривање), вентили за регулацију притиска, манометри и манометри, итд. За дистрибуцију неких инертних гасова, панел колектора вентила - Углавном се користи ВМП (мултифункционални вентилски диск) који има отворену површину гасног диска и не захтева дизајн затвореног простора и додатно прочишћавање азотом.
6. Секундарна вентилска плоча/кутија (плоча за спајање алата) Дефиниција:
Повежите гас који је потребан за полупроводничку опрему од извора гаса до краја опреме и обезбедите одговарајућу регулацију притиска. Овај панел је систем за контролу гаса који је ближи крају опреме него ВМБ (мултифункционална вентилска кутија).
Величина гасовода: 1/4 - 3/8 инча
Величина цевовода за течност: 1/2 - 1 инча
Величина цевовода за пражњење: 1/2 - 1 инча
Главни производи: мембрански вентил / вентил са мехом, једносмерни вентил, вентил за регулацију притиска, манометар, манометар, спој високе чистоће (ВЦР, микро заваривање), феруле спој, куглични вентил, црево итд.
Време поста: 22.11.2024