1. Дефиниција система за гас у расутом стању:
Складиштење и контрола притиска инертних гасова Врсте гасова: Типични инертни гасови (азот, аргон, компримовани ваздух итд.)
Величина цевовода: Од 1/4 (цевовод за праћење) до главног цевовода од 12 инча
Главни производи система су: мембрански вентил/мехов вентил/куглични вентил, конектор високе чистоће (VCR, облик за заваривање), конектор са ферулом, вентил за регулацију притиска, манометар итд.
Тренутно, нови систем такође укључује систем за специјални гас у расутом стању, који користи фиксне боце за гас или камионе-цистерне за складиштење и транспорт.
2. Дефиниција система за пречишћавање:
Уклањање нечистоћа из гасова у расутом стању за гасоводе високе чистоће
3. Дефиниција гасних ормара:
Обезбедити контролу притиска и праћење протока за посебне изворе гаса (токсичне, запаљиве, реактивне, корозивне гасове) и имати могућност замене гасних боца.
Локација: Налази се на под-фабрици или на доњем спрату за складиштење посебних гасова Извор: NF3, SF6, WF6, итд.
Величина цевовода: Унутрашњи гасовод, генерално 1/4 инча за процесни цевовод, 1/4-3/8 инча углавном за цевовод за чишћење азотом високе чистоће.
Главни производи: Мембрански вентили високе чистоће, неповратни вентили, манометри, манометри, конектори високе чистоће (VCR, облик за заваривање) Ови гасни ормарићи у основи садрже могућности аутоматског пребацивања боца како би се осигурало континуирано снабдевање гасом и безбедна замена боца.
4. Дефиниција дистрибуције:
Повезивање извора гаса са завојницом за сакупљање гаса
Величина цеви: У фабрици чипова, величина цевовода за дистрибуцију гаса углавном се креће од 1/2 инча до 2 инча.
Облик повезивања: Специјални гасоводи се генерално повезују заваривањем, без икакве механичке везе или других покретних делова, углавном зато што заварени спој има јаку поузданост заптивања.
У фабрици чипова постоје стотине километара цеви повезаних за пренос гаса, које су у основи дугачке око 6 метара и заварене заједно. Неке цевне кривине и цевасти заварени спојеви су такође веома чести.
5. Дефиниција вишефункционалне кутије вентила (кутија разводника вентила, VMB):
То је за дистрибуцију специјалних гасова од извора гаса до различитих крајева опреме.
Унутрашња величина цевовода: процесни цевовод од 1/4 инча и цевовод за чишћење од 1/4 - 3/8 инча. Систем може користити рачунарску контролу да би захтевао активиране вентиле или јефтиније ситуације са ручним вентилима.
Системски производи: мембрански вентили/мехови вентили високе чистоће, неповратни вентили, спојеви високе чистоће (VCR, облик микрозаваривања), вентили за регулацију притиска, манометри и манометри, итд. За дистрибуцију неких инертних гасова углавном се користи панел разводника вентила - VMP (вишефункционални диск вентила), који има отворену површину диска за гас и не захтева дизајн затвореног простора и додатно чишћење азотом.
6. Дефиниција секундарне плоче/кутије вентила (панел за прикључивање алата):
Повежите гас потребан полупроводничкој опреми од извора гаса до краја опреме и обезбедите одговарајућу регулацију притиска. Ова табла је систем за контролу гаса који је ближи крају опреме него VMB (вишефункционална кутија вентила).
Величина гасовода: 1/4 - 3/8 инча
Величина цевовода за течност: 1/2 - 1 инч
Величина испусног цевовода: 1/2 - 1 инч
Главни производи: мембрански вентил/мехов вентил, једносмерни вентил, вентил за регулацију притиска, манометар, манометар, спој високе чистоће (VCR, микро-заваривање), спој са ферулом, куглични вентил, црево итд.
Време објаве: 22. новембар 2024.