As полупроводника микроелектронске технологије се развијају ка већим перформансама и већој интеграцији, постављају се већи захтеви на чистоћу електронских специјалних гасова. Технологија цевовода за гас високе чистоће је важан део система за снабдевање гасом високе чистоће. То је кључна технологија за испоруку гасова високе чистоће који испуњавају захтеве до места коришћења гаса, а да притом и даље одржавају квалификован квалитет.
Технологија цевовода високе чистоће обухвата правилан дизајн система, избор цевних спојница и помоћних материјала, конструкцију и монтажу и испитивање.
01 Општи концепт цевовода за пренос гаса
Сви гасови високе чистоће и високе чистоће морају се транспортовати до терминалне тачке гаса кроз цевоводе. Да би се испунили захтеви квалитета процеса за гас, када је индекс извоза гаса сигуран, потребно је обратити пажњу на избор материјала и квалитет конструкције цевоводног система. Поред тачности опреме за производњу или пречишћавање гаса, на то у великој мери утичу многи фактори система цевовода. Стога, избор цеви треба да се придржава релевантних принципа индустрије пречишћавања и означи материјал цеви на цртежима.
02Значај цевовода високе чистоће у транспорту гаса
Значај цевовода високе чистоће у транспорту гаса високе чистоће Током процеса топљења нерђајућег челика, свака тона може да апсорбује око 200г гаса. Након што је нерђајући челик обрађен, не само да се разни загађивачи заглављују на његовој површини, већ се и одређена количина гаса апсорбује у његовој металној решетки. Када проток ваздуха пролази кроз цевовод, део гаса који апсорбује метал ће поново ући у ток ваздуха и загадити чисти гас.
Када је проток ваздуха у цеви дисконтинуиран, цев формира адсорпцију притиска на гас који пролази. Када проток ваздуха престане да пролази, гас адсорбован у цеви формира анализу смањења притиска, а анализирани гас такође улази у чисти гас у цеви као нечистоћа.
Истовремено, циклус адсорпције и анализе ће узроковати да метал на унутрашњој површини цеви произведе одређену количину праха. Ова честица металне прашине такође загађује чист гас у цеви. Ова карактеристика цеви је веома важна. Да би се обезбедила чистоћа транспортованог гаса, не само да је потребно да унутрашња површина цеви има изузетно високу глаткоћу, већ и да има високу отпорност на хабање.
Када гас има јака корозивна својства, за цевоводе се морају користити цеви од нерђајућег челика отпорне на корозију. У супротном, на унутрашњој површини цеви ће се појавити мрље корозије услед корозије. У тешким случајевима, велики комади метала ће се ољуштити или чак перфорирати, чиме ће контаминирати чисти гас који се транспортује.
03 Материјал цеви
Одабир материјала цеви треба изабрати у складу са потребама употребе. Квалитет цеви се генерално мери према храпавости унутрашње површине цеви. Што је мања храпавост, мања је вероватноћа да носи честице. Генерално се дели на три типа:
Један јеЕП цијев 316Л, који је електролитички полиран (Елецтро-Полисх). Отпоран је на корозију и има малу храпавост површине. Рмак (максимална висина од врха до долине) је око 0,3 μм или мање. Има највећу равност и није лако формирати микро вртложне струје. Уклоните контаминиране честице. Реакциони гас који се користи у процесу треба да буде доведен у цев на овом нивоу.
Један је аБА разред 316Лцев, која је обрађена од стране Бригхт Аннеал-а и често се користи за гасове који су у контакту са чипом, али не учествују у реакцији процеса, као што су ГН2 и ЦДА. Једна је АП цев (Аннеалинг & Пицкинг), која није посебно третирана и углавном се користи за дупле сетове спољних цеви које се не користе као водови за снабдевање гасом.
04 Изградња цевовода
Обрада отвора цеви је једна од кључних тачака ове грађевинске технологије. Сечење и префабрикација цевовода се обављају у чистом окружењу, а истовремено се обезбеђује да на површини цевовода пре сечења нема штетних трагова или оштећења. Пре отварања цевовода треба извршити припреме за испирање азота у цевоводу. У принципу, заваривање се користи за повезивање цевовода за пренос и дистрибуцију гаса високе чистоће и високе чистоће са великим протоком, али директно заваривање није дозвољено. Треба користити спојеве кућишта, а материјал цеви који се користи мора да нема промене у структури током заваривања. Ако је материјал са превисоким садржајем угљеника заварен, пропустљивост ваздуха дела заваривања ће довести до тога да гас унутар и изван цеви продире један у други, уништавајући чистоћу, сувоћу и чистоћу транспортног гаса, што ће довести до озбиљних последица и утичу на квалитет производње.
Укратко, за гасоводе високе чистоће и специјалне гасоводе за пренос гаса, морају се користити посебно обрађене цеви од нерђајућег челика високе чистоће, што чини да систем цевовода високе чистоће (укључујући цевоводе, цевне спојеве, вентиле, ВМБ, ВМП) заузима витална мисија у дистрибуцији гаса високе чистоће.
Време поста: 26.11.2024