As полупроводники микроелектронске технологије се развијају ка већим перформансама и већој интеграцији, постављају се већи захтеви за чистоћу електронских специјалних гасова. Технологија цевовода за гас високе чистоће је важан део система за снабдевање гасом високе чистоће. То је кључна технологија за испоруку гасова високе чистоће који испуњавају захтеве до места коришћења гаса, а истовремено одржавају квалификовани квалитет.
Технологија цевовода високе чистоће обухвата правилан дизајн система, избор цевних фитинга и помоћних материјала, изградњу и монтажу и испитивање.
01Општи концепт цевовода за пренос гасова
Сви гасови високе чистоће и чистоће морају се транспортовати до терминалне тачке гасовода путем цевовода. Да би се испунили захтеви за квалитет процеса гаса, када је индекс извоза гаса известан, неопходно је обратити пажњу на избор материјала и квалитет израде цевоводног система. Поред тачности опреме за производњу или пречишћавање гаса, на њу у великој мери утичу многи фактори цевоводног система. Стога, избор цеви мора бити у складу са релевантним принципима индустрије пречишћавања и обележити материјал цеви на цртежима.
02 Значај цевовода високе чистоће у транспорту гаса
Значај цевовода високе чистоће у транспорту гаса високе чистоће Током процеса топљења нерђајућег челика, свака тона може да апсорбује око 200 г гаса. Након обраде нерђајућег челика, не само да се различити загађивачи задржавају на његовој површини, већ се и одређена количина гаса апсорбује у његову металну решетку. Када постоји проток ваздуха кроз цевовод, део гаса који је апсорбовао метал поново ће ући у проток ваздуха и загадити чисти гас.
Када је проток ваздуха у цеви дисконтинуиран, цев ствара адсорпцију притиска на гасу који пролази кроз њу. Када проток ваздуха престане да пролази, гас који је адсорбовала цев ствара анализу смањења притиска, а анализирани гас такође улази у чисти гас у цеви као нечистоћа.
Истовремено, циклус адсорпције и анализе ће узроковати да метал на унутрашњој површини цеви произведе одређену количину праха. Ова честица металне прашине такође загађује чисти гас у цеви. Ова карактеристика цеви је веома важна. Да би се осигурала чистоћа транспортованог гаса, не само да је потребно да унутрашња површина цеви има изузетно високу глаткоћу, већ и да има високу отпорност на хабање.
Када гас има јака корозивна својства, за цевоводе се морају користити цеви од нерђајућег челика отпорне на корозију. У супротном, на унутрашњој површини цеви ће се појавити мрље од корозије услед корозије. У тешким случајевима, велики комади метала ће се љуштити или чак перфорирати, чиме ће контаминирати чисти гас који се транспортује.
03Материјал цеви
Избор материјала цеви треба да се одабере у складу са потребама употребе. Квалитет цеви се генерално мери према храпавости унутрашње површине цеви. Што је храпавост мања, мања је вероватноћа да ће носити честице. Генерално се деле на три типа:
Један јеЦев EP класе 316L, који је електролитички полиран (електро-полиран). Отпоран је на корозију и има ниску површинску храпавост. Rmax (максимална висина од врха до дна) је око 0,3μm или мање. Има највећу равност и није лако формирати микро-вртоглаве струје. Уклоните контаминиране честице. Реакциони гас који се користи у процесу треба да се доводи на овом нивоу.
Један јеБА класа 316Лцев, која је третирана методом „Bright Anneal“ и често се користи за гасове који су у контакту са чипом, али не учествују у реакцији процеса, као што су GN2 и CDA. Једна је AP цев (жарење и сакупљање), која није посебно третирана и генерално се користи за двоструке сетове спољних цеви које се не користе као водови за довод гаса.
04 Изградња цевовода
Обрада отвора цеви једна је од кључних тачака ове грађевинске технологије. Сечење и префабрикација цевовода се изводе у чистом окружењу, а истовремено се осигурава да нема штетних трагова или оштећења на површини цевовода пре сечења. Припреме за испирање азотом у цевоводу треба извршити пре отварања цевовода. У принципу, заваривање се користи за повезивање цевовода за пренос и дистрибуцију гаса високе чистоће и високе чистоће са великим протоком, али директно заваривање није дозвољено. Треба користити спојеве кућишта, а материјал цеви који се користи не сме да мења структуру током заваривања. Ако се завари материјал са превисоким садржајем угљеника, пропустљивост ваздуха заваривог дела ће проузроковати да гас унутар и споља цеви продру један у други, уништавајући чистоћу, сувоћу и чистоћу транспортног гаса, што ће довести до озбиљних последица и утицати на квалитет производње.
Укратко, за гасоводе високе чистоће и посебне гасоводе, мора се користити специјално обрађена цев од нерђајућег челика високе чистоће, што чини систем цевовода високе чистоће (укључујући цевоводе, фитинге за цеви, вентиле, ВМБ, ВМП) виталном мисијом у дистрибуцији гаса високе чистоће.
Време објаве: 26. новембар 2024.